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PSS晶圓自動(dòng)上片機FST-SC100P-A

應用于LED半導體PSS制程薄膜段,完成ICP工藝設備之前PSS倒片上片及鎖螺絲等功能。主要由鋁盤(pán)立體倉儲、cassette立體倉儲、OCR讀取、機器人自動(dòng)上片、機器人自動(dòng)鎖螺絲組成。
設備參數
類(lèi)別內容
設備節拍
850盤(pán)/天
產(chǎn)品良率≧99.5%
設備精度晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.15mm,±0.2度以?xún)?/td>
設備尺寸L3m*W2.7m**H2.45m



設備優(yōu)勢

使用場(chǎng)景:PSS段ICP工藝生產(chǎn)前

全自動(dòng):高度智能信息化系統可實(shí)現自動(dòng)上盤(pán)、盤(pán)尋邊、晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動(dòng)上片、自動(dòng)鎖螺絲、盤(pán)自動(dòng)下料、Wafer ID與盤(pán)SN綁定LINK后上傳至MES.

高配置:CCD自動(dòng)檢測、著(zhù)名品牌工業(yè)機器人、全過(guò)程伺服控制系統、全過(guò)程智能檢測系統.

高精度:晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.15mm,±0.2度以?xún)?

人性化:成熟先進(jìn)的自動(dòng)控制技術(shù),增加智能監控,智能語(yǔ)音提醒,既滿(mǎn)足工業(yè)生產(chǎn)也兼顧人因工程.

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