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PVD晶圓自動(dòng)倒片機FST-SC200W

應用于LED半導體外延工藝段,可實(shí)現晶圓從原料倉至PVD工序之間以及PVD工序到MOCVD工序之間的周轉。主要由Foup交替上料區、Cassette立體倉儲、機器人取放盤(pán)機構、機器人自動(dòng)上下片組成。
設備參數
類(lèi)別內容
設備節拍
288pcs/h
產(chǎn)品良率≧99.5%
設備精度晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.1mm,±0.15度以?xún)?/td>
設備尺寸L2.8m*W1.5m**H2.45m


設備優(yōu)勢

使用場(chǎng)景:外延段PVD工藝生產(chǎn)前后

全自動(dòng):自動(dòng)上盤(pán)、盤(pán)尋邊、晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動(dòng)上片、同步實(shí)現自動(dòng)下片、Wafer ID與盤(pán)SN綁定LINK后上傳至MES

高配置:CCD自動(dòng)檢測、著(zhù)名品牌工業(yè)機器人、全過(guò)程伺服控制系統、全過(guò)程智能檢測以及智能化操作系統等

高精度:晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.1mm,±0.15度以?xún)?/p>

人性化:成熟先進(jìn)的自動(dòng)控制技術(shù),增加智能監控,智能語(yǔ)音提醒,既滿(mǎn)足工業(yè)生產(chǎn)也兼顧人因工程

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