中文字幕亚洲一区二区三区_PVD晶圓自動(dòng)倒片機FST-SC200W-上海福賽特技術(shù)股份有限公司

PVD晶圓自動(dòng)倒片機FST-SC200W

應用于LED半導體外延工藝段，可實(shí)現晶圓從原料倉至PVD工序之間以及PVD工序到MOCVD工序之間的周轉。主要由Foup交替上料區、Cassette立體倉儲、機器人取放盤(pán)機構、機器人自動(dòng)上下片組成。

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設備參數

設備優(yōu)勢

使用場(chǎng)景：外延段PVD工藝生產(chǎn)前后

全自動(dòng)：自動(dòng)上盤(pán)、盤(pán)尋邊、晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動(dòng)上片、同步實(shí)現自動(dòng)下片、Wafer ID與盤(pán)SN綁定LINK后上傳至MES

高配置：CCD自動(dòng)檢測、著(zhù)名品牌工業(yè)機器人、全過(guò)程伺服控制系統、全過(guò)程智能檢測以及智能化操作系統等

高精度：晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.1mm，±0.15度以?xún)?/p>

人性化：成熟先進(jìn)的自動(dòng)控制技術(shù)，增加智能監控，智能語(yǔ)音提醒，既滿(mǎn)足工業(yè)生產(chǎn)也兼顧人因工程

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