久久天天躁狠狠躁夜夜躁2014_MOCVD AMHS 智能晶圓輸送系統FST-CP-AMHS-100(MO)-上海福賽特技術(shù)股份有限公司

MOCVD AMHS 智能晶圓輸送系統FST-CP-AMHS-100(MO)

實(shí)現LED半導體工廠(chǎng)核心工藝設備MOCVD的晶圓倒片及晶圓傳輸的智能化自動(dòng)物料搬送系統。由如下設備和子系統組成：MOCVD晶圓倒片機，配置了防塵貨架的AGV，存儲石墨盤(pán)的電子貨架，和與MOCVD對接實(shí)現上下片功能的周轉單元。

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設備參數

設備優(yōu)勢

全自動(dòng)：AGV運載石墨盤(pán)根據調度系統指令自動(dòng)在電子貨架、MO倒片機，周轉單元對接；

電子貨架存儲石墨盤(pán)且與中控系統實(shí)時(shí)通訊監控石墨盤(pán)狀態(tài)；

MO倒片機實(shí)現自動(dòng)上下石墨盤(pán)，Pocket自動(dòng)清潔，晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動(dòng)上片、可反流程實(shí)現自動(dòng)下片，Wafer ID與盤(pán)SN綁定LINK后上傳至MES；

周轉單元與MO設備無(wú)縫對接，實(shí)現自動(dòng)上下石墨盤(pán)，收集MO腔體狀態(tài)信息于中控系統通訊；

高配置：CCD自動(dòng)檢測、著(zhù)名品牌工業(yè)機器人、全過(guò)程伺服控制系統、全過(guò)程智能檢測以及智能化操作系統等

人性化：成熟先進(jìn)的自動(dòng)控制技術(shù)，增加智能監控，智能語(yǔ)音提醒，既滿(mǎn)足工業(yè)生產(chǎn)也兼顧人因工程

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