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MOCVD AMHS 智能晶圓輸送系統FST-CP-AMHS-100(MO)

實(shí)現LED半導體工廠(chǎng)核心工藝設備MOCVD的晶圓倒片及晶圓傳輸的智能化自動(dòng)物料搬送系統。由如下設備和子系統組成:MOCVD晶圓倒片機,配置了防塵貨架的AGV,存儲石墨盤(pán)的電子貨架,和與MOCVD對接實(shí)現上下片功能的周轉單元。
設備參數
類(lèi)別內容
設備節拍(上片或下片)425pcs/h
產(chǎn)品良率
≥99.9%
設備精度晶圓片上下片重復定位精度 可達到±0.05mm,±0.1度以?xún)?/td>
MO倒片機尺寸L4.5m*W2.6m*H2.4m
周轉單元尺寸L2.7m*W1.85m*H2.4m
AGV尺寸根據具體功能定制
電子貨架尺寸根據具體功能定制


設備優(yōu)勢

全自動(dòng):AGV運載石墨盤(pán)根據調度系統指令自動(dòng)在電子貨架、MO倒片機,周轉單元對接;

電子貨架存儲石墨盤(pán)且與中控系統實(shí)時(shí)通訊監控石墨盤(pán)狀態(tài);

MO倒片機實(shí)現自動(dòng)上下石墨盤(pán),Pocket自動(dòng)清潔,晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動(dòng)上片、可反流程實(shí)現自動(dòng)下片,Wafer ID與盤(pán)SN綁定LINK后上傳至MES;

周轉單元與MO設備無(wú)縫對接,實(shí)現自動(dòng)上下石墨盤(pán),收集MO腔體狀態(tài)信息于中控系統通訊;

高配置:CCD自動(dòng)檢測、著(zhù)名品牌工業(yè)機器人、全過(guò)程伺服控制系統、全過(guò)程智能檢測以及智能化操作系統等

人性化:成熟先進(jìn)的自動(dòng)控制技術(shù),增加智能監控,智能語(yǔ)音提醒,既滿(mǎn)足工業(yè)生產(chǎn)也兼顧人因工程

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